微粒子測定器

(particle measuring instrument)空気中や液体中にある埃や不純物などの微粒子を計数する計測器で、パーティクルカウンタとも呼ばれる。気体や液体の清浄度として、微粒子の数を調べて目安としている。一般に光を照射して微粒子による光の散乱から、数を計測する。気中パーティクルカウンタは、半導体などを製造するクリーンルームでは必須の測定器である。液中パーティクルカウンタもある。有害な大気汚染物質の1つであるPM2.5濃度はレーザー粒子センサなどを使って計測されている。計測器メーカでは、国産のリオン株式会社が有名。海外ではBEKMAN COULTER(ベックマン・コールター)などがある。環境計測器や科学分析機器に分類されている。