計測関連用語集

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詳細説明

SEM

読み方:

せむ

カテゴリー:

#光学・視覚測定器

(Scanning Electron Microscope)
走査電子顕微鏡(または走査型電子顕微鏡)。電子線を観測対象に照射し、放出される二次電子などから像をつくる。電子線を使う顕微鏡が電子顕微鏡で、大きくSEMとTEM (Transmission Electron Microscope、透過電子顕微鏡)があるが、SEMを(走査電子顕微鏡ではなく)略して「電子顕微鏡」といっていることもある。
SEMの測定範囲はnm(ナノメートル)オーダで高倍率。AFM(原子間力顕微鏡)と使い分けられている。またSEMの視野は広く、低倍率のμm(マイクロメートル)~数cmも可能。種類はFE-SEM(電界放出型)、CD-SEM(測長SEM)などがある。読み方は「セム」または「エスイーエム」。

国産の日本電子株式会社(JEOL)や(株)日立ハイテクがつくっている。外資ではCarl Zeiss (カールツァイス、ドイツの光学大手。高精細な画像取得が定評)、Thermo Fisher Scientific (サーモフィッシャー、米国に本社がある、科学機器~バイオ関連まである世界的な総合メーカ。電子顕微鏡の老舗FEIが傘下にある)。マイクロスコープで有名なキーエンスやガスクロ・液クロ(物質の成分を定量・定性分析する科学分析機器の代表)のトップメーカ 島津製作所もつくっている。

SEMはコンフォーカル技術を使ったレーザー顕微鏡や、デジタル顕微鏡のマイクロスコープと仕様が競合するが、用途(顧客)によって使い分けられている。

マーケティング分野ではSEMはSearch Engine Marketing(検索エンジンマーケティング)のこと。SEOやリスティング広告でWebサイトの集客を増やす手法。SEOは「自然検索で順位を上げる(無料)」施策で、SEMは「リスティング広告(有料)」まで含んだ広義のことば。

参考記事
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