液中パーティクルカウンタ

(liquid particle counter)
液体内の粒子密度(液体の清浄度)の計測器。パーティクルカウンタは微粒子(パーティクル)の数を計数(カウント)して濃度を測定する計測器(分析器)の品名(機種群名)。液体密度計とも呼ばれる。レーザなどを使って光学的に粒子数を計数できるため、粒子数を清浄度の指標にしている。
クリーンルームなどの清浄度を測定する気中パーティクルカウンタが知られているが、半導体の製造や医薬品の管理には液中パーティクルカウンタは必須の計測器である。半導体や医薬品の生産には高度な品質管理が必要なため、液体の清浄度管理に使われる。粒子径(粒子のサイズ)によってレンジがあり、多くの種類の液中パーティクルカウンタがある(用途によってモデルが使い分けられている)。
気中だけでなく液中のパーティクルカウンタもラインアップするメーカは少なく、英国に本社があるPMS(※1)社と国産のリオン(※2)が世界的な2トップといわれている。Danaher(ダナハー)グループのBeckman Coulter(ベックマン・コールター) や風速計が有名な国産の日本カノマックスも液中パーティクルカウンタをつくっている。理化学機器の商社であるヤマト科学も取り扱っている。
リオンは液中パーティクルカウンタをliquid-borne particle counter(液体を媒介したパーティクルカウンタ)、気中パーティクルカウンタをair-borne particle counterと表記している。

※1 (Particle Measuring Systems) 1972年に世界に先駆けLD(レーザーダイオード)を使った光学式パーティクルカウンタを製品化。1996年にSpectris plc の傘下に入る。Spectrisの日本法人にスペクトリス株式会社がある。PMS日本支社(スペクトリス社PMS事業部)は神奈川県川崎市にある。音・振動のB&K(ブリュエル・ケアー)と力・ひずみ・トルクのHBM(HOTTINGER BALDWIN MESSTECHNIK)が合弁したHBK(ホッティンガー・ブリュエルケアー)社は同じくSpectrisの傘下で、スペクトリス社HBK事業部である。ただしPMSやMalvern Panalytical(粒子計測とX線分析)などの3社がSpectris Siencs(スペクトリスの科学事業)で、HBKはSpectris Dynamics(スペクトリスの力学事業)に位置付けられている。つまりスペクトリスは科学分析の3社と計測器の1社で構成されている。

※2 リオンは振動計や騒音計などの音・振動測定と補聴器で有名だが、1977年に国産初の気中パーティクルカウンタを開発し、その後液中パーティクルカウンタもラインアップした微粒子計測のトップブランドである。気中パーティクルカウンタだけをつくるメーカは国内外に多いが、リオンとPMSはSEMICON Japan(セミコンショー)では多くの製品を並べて出展している。