定量分析
標準試料を用いて測定したX線強度との相関から、未知試料を構成する成分物質の量を明らかにする目的で行う分析法。(フィッシャー・インストルメンツの膜厚測定、素材分析、材料試験、表面特性解析に関する用語集より)
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標準試料を用いて測定したX線強度との相関から、未知試料を構成する成分物質の量を明らかにする目的で行う分析法。(フィッシャー・インストルメンツの膜厚測定、素材分析、材料試験、表面特性解析に関する用語集より)