パーティクルカウンタ

(particle counter)
粒子(パーティクル)を計数(カウント)する測定器。レーザーなどの光を微粒子に当てて反射からその数を計測できる。粒子の多さ(数)を清浄度の指標にしている。微粒子濃度計や微粒子測定器とも呼ばれる。気体の清浄度を測定する気中パーティクルカウンタはクリーンルームの管理に使われ、パーティクルカウンタといえば気中パーティクルカウンタを指している場合が多い。液中パーティクルカウンタもあり、半導体や医薬品の製造過程では必須の測定器である。気中パーティクルカウンタよりも小型で安価なパーティクルセンシングモニターなる製品もある。また微粒子測定器には粒度分布測定装置もある。
国産のリオンは、小さな粒子径を測定できる液中パーティクルカウンタを開発し、スペクトリス社傘下のPMS(Particle Measuring Systems)社と競っている。2社はSEMOCON Japan(セミコンショー)に最新モデルを出展している。