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商品説明
高出力レーザ用NFP・FFP同時計測光学系 M-Scope type HDは、出力～10Wクラス高出力青色レーザのNFP計測とFFP計測を同一光学系にて行うことが可能な光学系です。
計測対象サンプルから出射された光束は、対物レンズを通過後、2段ビームサンプラーにて約99.99%程度に減光、結像レンズにて2次元画像検出器に結像する方式を採用しています。光学系には、NFP計測ポートとFFP計測ポートが搭載されており、光学系に入射した光束は両計測ポートに分岐されて検出器にリレーされます。これにより、単一光学系を用いてNFP計測とFFP計測を同時に行うことができます。
当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによるハイパワーレーザNFP・FFP同時計測システムの構築が容易に可能です。
商品スペック
＞＞もっと見る【方式】ビームサンプラー(対物レンズ後方2段)搭載型NFP・FFP同時計測光学系+画像処理解析方式
【測定対象入射光量】~10W(応相談)
【減光方式】2段ビームサンプラーにより約99.99%減光(反射光はビームダンパーにより遮蔽)、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式(最大2枚まで同時挿入可能)
【測定対応波長域】M-Scope type HD:400nm-460nm *上記以外の計測波長対応に関してはご相談ください。
【偏光依存性補償】ビームサンプラー内蔵減衰ミラー2段直交配置による偏光依存性補償
【使用検出器】高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL
【使用対物レンズ】NFP/FFP同時計測時:M-Plan Apo NUV50倍対物レンズに対応(単眼・NFP計測は他の倍率も使用可能)
【対物レンズの交換】単眼、対物レンズの付替えによる
【NFP計測機能】計測視野(画角):約140µm×100μm角 計測画素分解能:約0.069µm
【FFP計測機能】FFP計測角度範囲:約±24° 計測角度画素分解能:約0.037°
【中間レンズ倍率(NFP計測)】1倍(標準)、0.5倍・2倍(オプション)
【落射照明ポート】標準(外形8mmφ)、落射照明装置本体はオプション
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