AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を「自由に組み合わせる」ことができます。
また、特注品の対応も可能です。

モデル(形名)の付け方(法則):AW-12-3-4-5
1:数字2桁、ウェーハサイズ。
2:数字2桁、熱電対センサ点数。
3:TまたはAまたはS、絶縁被覆材質。
4:数字1桁/数字1桁+小数点第一位、コードの長さ。
5:アルファベット大文字/数字、プラグ形状。
例:AW-0505K-A-TS1-ANPなど。

番号の詳細
番号:項目:形名記号/仕様概要
1:ウェーハサイズ:5/5インチ 8/8インチ 12/12インチ
2:熱電対センサ点数:1/1点 5/5点 9/9点
3:絶縁被覆材質:T/テフロン A/アルミナ繊維スリーブ S/石英管
4:コードの長さ:1/1m 1.5/1.5m 2/2.5m 2.5/2.5m …/…
5:プラグ形状:ASP/標準プラグ(熱電対同種金属) ANP/ミニプラグ(熱電対同種金属) W/切りっぱなし WT3/Y端子M3用(一般電極材) WT4/Y端子M4用(一般電極材) WT5/Y端子M5用(一般電極材) WC3/丸穴端子M3用(一般電極材) WC4/丸穴端子M4用(一般電極材) WC5/丸穴端子M5用(一般電極材) ANJY3/Y端子M3用(熱電対同種金属) ANJY4/Y端子M4用(熱電対同種金属) ANJC3/丸穴端子M3用(熱電対同種金属) ANJC4/丸穴端子M4用(熱電対同種金属) WA/バナナ端子(一般電極材)