FA1816 フライングプローブテスタ日置電機 | 計測器

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日置電機

フライングプローブテスタ

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形名：FA1816

日置電機半導体測定器 FA1816

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商品説明

● 静電容量方式による、Max.100 points/sec.の高速パターン検査
● 最新プローブとの組み合わせで打痕深さ1/2を実現
● 格段に向上した操作性

商品スペック

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【アーム数】2 (表面 ×2)
【取付可能プローブ】1172シリーズ, CP1072シリーズ
【検査ステップ数】999,999ステップ
【検査項目・測定範囲:抵抗測定:】40.00 μΩ〜40.00 MΩ
【検査項目・測定範囲:絶縁測定:】1.000 kΩ〜500.0 MΩ
【検査項目・測定範囲:容量測定:】100.0 fF〜10.00 μF
【検査項目・測定範囲:漏れ電流測定:】1.000 μA〜10.00 mA
【検査項目・測定範囲:高電圧抵抗測定:】1.000 kΩ〜500.0 MΩ
【検査項目・測定範囲:キャパシタ絶縁測定:】1.000 kΩ〜10.00 MΩ
【検査項目・測定範囲:オープン測定:】4.000 Ω〜4.000 MΩ
【検査項目・測定範囲:ショート測定:】400.0 mΩ〜40.00 kΩ
【判定範囲】-99.9%〜+999.9%, または絶対値
【最小パッドピッチ】40 μm (CP1075-09 使用時)
【最小パッドサイズ】10 μm (CP1075-09 使用時)
【測定スピード】Max. 100 points/s (0.1 mm移動・2アーム同時プロービング, 容量測定時)
【検査可能基板】50W × 50D〜610W × 510D mm, 厚さ0.1 mm〜3.2 mm
【最大検査可能エリア】610W × 510D mm
【電源】AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50Hz/ 60Hz, 最大消費電力: 3 kVA
【寸法・質量】1303W × 1194H × 1167D mm (突起物除く), 900 kg