【アーム数】上面2,下面2
【取付可能プローブ】1172シリーズ,CP1072シリーズ,CP1073シリーズ
【検査ステップ数】999,999ステップ
【検査項目・測定範囲:直流定電流導通測定】400.0μΩ〜400.0 kΩ
【検査項目・測定範囲:直流定電流抵抗測定】40.00μΩ〜400.0 kΩ
【検査項目・測定範囲:直流定電圧抵抗測定】4.000 Ω〜40.00 MΩ
【検査項目・測定範囲:絶縁抵抗測定】1.000 kΩ〜100.0 GΩ
【検査項目・測定範囲:交流定電圧静電容量測定】100.0 fF 〜10.00μF
【検査項目・測定範囲:漏れ電流測定】1.000 μA 〜10.00 mA
【検査項目・測定範囲:高電圧抵抗測定】1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
【検査項目・測定範囲:キャパシタ絶縁測定】1.000 kΩ 〜10.00 MΩ
【検査項目・測定範囲:オープン測定】4.000 Ω 〜4.000 MΩ
【検査項目・測定範囲:ショート測定】400.0 mΩ 〜40.00 kΩ
【検査項目・測定範囲:LSI 消費電流検査】100.0 nA 〜100.0 mA
【検査項目・測定範囲:交流定電圧抵抗測定】10.00 Ω 〜10.00 kΩ
【検査項目・測定範囲:交流定電圧静電容量測定】10.00 pF 〜100.0 μF
【検査項目・測定範囲:交流定電圧インダクタンス測定】1.000 μH 〜1.000 mH
【判定範囲】-99.9% 〜+999.9%, または絶対値
【移動最小分解能】XY:0.1 μm / pulse , Z: 1 μm / pulse