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商品説明
ST-3541は、プローブ内に回路を内蔵していない「パッシブ型」を採用しています。このため、安定性を大きく向上させています。さらに、回路部品がないため小型化がはかれ、組み込みに最適な構造となっています。ナノメートルの変位測定や、精密ステージの位置検出・姿勢制御、平面度、厚み測定に最適です。
商品スペック
>>もっと見る【測定方式】静電容量方式
【測定範囲】50±25μm、100±50μm、200±100μm、500±250μm 測定レンジにより別表プローブ1種類のみを選択する(本体と組み合わせ調整)
【出力電圧】+10 ~ -10V(フルスケール)
【周波数帯域】DC~1kHz(-3dB)(約5kHz 、100Hz、10Hzに切換え可能)
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