FS LINE Hybrid 超音波映像装置日立パワーソリューションズ | 計測器

日立パワーソリューションズ

超音波映像装置

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形名：FS LINE Hybrid

日立パワーソリューションズ科学分析機器 FS LINE Hybrid

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商品説明

FPDや太陽電池向けのスパッタリングターゲットやセラミック部品等の大型化が進む材料・部品のように、 FineSATシリーズの装置では対応できない大型の対象物の検査を大型スキャナと大型水槽を採用することで対応できるようにしたのがFS LINEです。
シングルプローブ用のFS LINEに加えて、シングルプローブとアレイプローブを併用することで大型品の検査時間を短縮できる FS LINE Hybrid も用意しています。

商品スペック

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【受信帯域】5, 10, 15MHz
【アレイ方向電子フォーカス】プログラマブル
【対応素子数】最大128素子
【同時送受信数】最大32素子
【プローブ方式】メカニカルスキャンまたは、フェイズドアレイプローブによる電子スキャンの2方式対応
【ボンディング部の検査時間例】1分30秒
(フェイズドアレイプローブによる電子スキャンでの測定)
(測定範囲2,500×300mm、2mmピッチ走査の場合)
【ワーク寸法】300mm×200mm×50mm以下