2020/07/02 シェア 高速、高感度でウエハー表面の欠陥を検出するマクロ検査装置を発売 東京エレクトロンデバイスは、化合物半導体ウエハー表面の欠陥を検出するマクロ検査装置「RAYSENS」を発売した。光学技術や独自の検出アルゴリズムにより、高感度かつ高速でウエハーの欠陥を検出する。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
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