ウシオ電機は 2021 年 5 月 11 日、分割投影露光装置 (「UX-5 シリーズ」) の生産能力増強に向け、設備投資を行うことを発表した。最先端 IC パッケージ基板の高まる需要に対応するため、15 億円を投資する予定だ。 [続きを読む]