【検知対象ガス】半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など)
【ガス採気方式】自動吸引式
【検知原理】熱線型半導体式
【検知可能漏洩量】アルシン:1.0×10-7 Pa•m3/s、ホスフィン:1.5×10-7 Pa•m3/s、ジボラン:0.5×10-7 Pa•m3/s、シラン:2.5×10-7 Pa•m3/s、水素:5×10-7 Pa•m3/s
【検知可能濃度】アルシン:0.2 ppm、ホスフィン:0.3 ppm、ジボラン:0.1 ppm、シラン:0.5 ppm、水素:1.0 ppm
【応答時間】10秒
【表示方式】ブザー音の断続およびランプの点滅
【電源】単3形マンガン乾電池4本 ※アルカリ電池、Ni-Cd電池も使用可能
【連続使用時間】アルカリ乾電池使用時:約9時間、マンガン乾電池使用時:約3時間
【使用温度範囲】0℃～40℃
【外形寸法】W68×H155×D32mm
【重量】約400g
【標準付属品】レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、点検ガス、標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池4本