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商品説明
マイクロマシニングと半導体製造技術により、1枚のシリコンチップ上に、マスと梁を生成し梁上部にピエゾ抵抗を作り込んだ、安定した構造となっています。ピエゾ抵抗でブリッジを構成し、印加された加速度による抵抗変化を、電圧信号として出力します。
商品スペック
＞＞もっと見る【感度】 100 mV/(m/s2)
【固有振動数】 DC ～ 100 Hz
【振動数範囲】 DC ～ 100 Hz
【最大計測加速度】 20 m/s2
【最大許容加速度】 300 m/s2
【使用温度範囲】 -10 ～ +70 ℃
【質量】 200 g
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