Lam Research が「365 日メンテナンスフリー」と銘打ったドライエッチング装置「Sense.i」を開発した。Sense.i は何がすごいのか。その特長と、Sense.i がもたらすであろう製造装置分野への影響、さらになぜ Lam Research がこのような装置を開発できるに至ったかを解説する。 [続きを読む]