業界ニュース

2020/06/24

東京工大、極薄ウエハーのレーザー加工技術を開発

東京工業大学は、極薄ウエハーにダメージを与えずに、ダイシングストリート幅を従来の 4 分の 1 に縮小できるレーザーダイシング加工技術を開発した。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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