業界ニュース

2019/03/26

産総研、大面積ダイヤモンドウエハー実現可能に

産業技術総合研究所 (産総研) は、マイクロ波プラズマ CVD 法を用い、クラックがない体積 1cm △△ 3 △△級の単結晶ダイヤモンド作製に成功した。インチサイズのウエハー実現に大きく近づいた。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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