計測器

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IVS-2000-ST 光学断層測定器 santec
販売開始
2009 年 6 月
販売状況
販売中
販売開始時参考価格
サポート状況
サポート中
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商品説明

IVS-2000-ST は、高い繰り返し精度を持つ中心波長 1310 nm帯のSS-OCTシステムです。
この波長帯は、散乱体でも光が深達しやすく、散乱の強い対象物の測定に適します。
また、測定の繰り返し精度が高く、コストも低く抑えられることから、インライン測定でも多く使われています。
【主要用途】
・SS-OCT入門機
・高精度インライン検査
・ウエハー厚さ、形状計測

商品スペック

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【主要特性】
・中心波長: 1310 nm
・A-lineレート: 20 kHz
・高軸方向分解能: < 18 μm (空気中)

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