2021/09/06 シェア 魁半導体、加熱機構搭載の真空プラズマ装置を発売 魁半導体は、真空プラズマ装置「プラズマエッチャー CPE シリーズ」として、新たにステージ加熱機構を搭載した「CPE-200AHM」の販売を始めた。加熱しない場合に比べて最大 2 倍の処理効果が得られるという。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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