・測定周波数範囲 20Hz〜5MHz / 10MHz / 15MHz / 20MHz / 30MHz / 50MHz / 120MHz、7モデル
・基本確度 0.05%
・インピーダンス測定範囲:20mΩ～150MΩ (確度10%)
・測定パラメタ Z, θ, C, D, L, Q, R, X, G, B, Y (直列/並列)
・測定信号レベル 電圧:10mVrms～1Vrms、電流:200μArms～20mArms
・DCバイアス(オプション)
0V～+40V / 0mA～±100mAまたは、-40V～+40V
・専用電流源6565シリーズと組み合わせて、最大40AのDCバイアス重畳可能
・動作モード
-解析モード
掃印(周波数/測定信号レベル/DCバイアス)、等価回路推定*1
-メータモード(測定条件固定で単発、繰り返し測定)
-マルチ計測モード*1(あらかじめ設定した測定条件で順次測定)
-複素平面表示試験機能*1、材料試験機能*1
・8.4インチカラーTFTの大画面とタッチパネル
・インタフェース
-GPIB、USB、LAN、VGA、USBメモリ、BIN出力ハンドラ