FISCHERSCOPE XDV-µ SEMI 蛍光X線式測定器の自動化システムフィッシャー・インストルメンツ | 計測器

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フィッシャー・インストルメンツ

蛍光X線式測定器の自動化システム

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形名：FISCHERSCOPE XDV-µ SEMI

フィッシャー・インストルメンツ科学分析機器 FISCHERSCOPE XDV-µ SEMI

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FISCHERSCOPE XDV-µ SEMI 蛍光X線式測定器の自動化システムフィッシャー・インストルメンツ

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商品説明

微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システムです。・微小構造のウェハー測定用に、ウェハーハンドラーを搭載した完全自動化の特別設計
・FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行

商品スペック

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【ウェハー供給部】BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用
【ロボット】信頼性の高い4軸、サーボ駆動
【エンドエフェクタ】標準吸引式エンドエフェクタ
【位置決め】回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション
【X線装置】FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® Wafer
【X線検出器】シリコンドリフト検出器(SDD)
【X線管球】マイクロフォーカスチューブ
【プライマリフィルター】4種類
【X線集光】ポリキャピラリ―