TM4000標準モデル
【倍率】×10～×100,000(写真倍率)、×25～×250,000(モニター倍率)
【加速電圧】5 kV、10 kV、15 kV
【画像信号】反射電子
【真空モード】標準、帯電軽減
【画像モード(反射電子)】通常、影付1、影付2、凹凸
【試料可動範囲】X:40 mm Y:35 mm
【最大試料サイズ】80 mm(径) 50 mm(厚さ)
【電子銃】プリセンタードカートリッジタイプ、タングステンヘアピンフィラメント
【検出器】反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
【自動画像調整機能】オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
【保存画像サイズ】2,560×1,920 画素、1,280×960 画素、640×480 画素
【ファイル形式】BMP、TIFF、JPEG
【データ表示】ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
【排気系(真空ポンプ)】ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台、ダイアフラムポンプ:20 L/min 1台
【操作補助機能】ラスターローテーション、倍率プリセット(3段)、イメージシフト(±50 µm @ WD6.0 mm)
【保護機能】過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
【大きさ・質量】本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(モータードライブステージ付)、本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(マニュアルステージ付)、ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm