計測器

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OPTELICS HYBRID L7 ハイブリッドレーザーマイクロスコープ レーザーテック
販売開始
2013 年 8 月
販売状況
販売中
販売開始時参考価格
サポート状況
サポート中
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商品説明

6つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅ハイエンドモデル、幅広い用途に対応、機能:白色コンフォーカル、レーザーコンフォーカル、微分干渉、光干渉計測、反射分光膜厚測定
特長
・高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
・広視野観察:一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上
・ナノオーダー測定:光干渉測定、反射分光膜厚測定
・波長選択:6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現
・高精細カラー観察:カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得
用途
各種材料の観察及び形状測定:
半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、
無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など

商品スペック

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【光源波長】レーザー:405nm、キセノン/水銀キセノン:436nm,486nm,514nm,546nm,578nm,633nm,白色
【視野(倍率)】白色:15,000×15,000μm(対物レンズ:1×)~
100×100μm(対物レンズ:150×)、レーザー:150×150μm(対物レンズ:100×)~
50×50μm(対物レンズ:150×)
【XYステージ】電動
【微分干渉観察機能】標準装備
【光干渉測定機能】標準装備
【反射分光膜厚測定機能】標準装備

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