6つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅ハイエンドモデル、幅広い用途に対応、機能:白色コンフォーカル、レーザーコンフォーカル、微分干渉、光干渉計測、反射分光膜厚測定
特長
・高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
・広視野観察:一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上
・ナノオーダー測定:光干渉測定、反射分光膜厚測定
・波長選択:6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現
・高精細カラー観察:カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得
用途
各種材料の観察及び形状測定:
半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、
無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など