カテゴリーから探す
メーカーから探す
調達手段から探す
計測器名・型から探す
- 販売開始
- -
- 販売状況
- 販売中
- 販売開始時参考価格
- -
- サポート状況
- サポート中
商品説明
・Model 645 ESC用電源は、2つの高圧アンプと、任意波形発生器、更に電源側でウエハーのESC状態を確認することができるCモニターから構成されています。
・Model 645電源に搭載されているCモニターから、静電チャックの情報が得られます。(ウエハーの有無/吸着)
商品スペック
>>もっと見る【出力電圧】0~±2kV
【出力電流】±2mA DC or ±5mA peak AC
【ノイズ】50mV rms
関連資料ダウンロード
カタログ倉庫で関連資料の検索をお願いします。
該当するカタログが無い場合もありますので、ご了承ください。
該当するカタログが無い場合もありますので、ご了承ください。
レビュー
この商品には現在レビューがありません。
レビュー投稿へのご協力をよろしくお願いいたします。
レビュー投稿へのご協力をよろしくお願いいたします。