【印加電圧】 +1.0V ～ +10V (0.1V 単位)
【チャンネル数(ボードあたり)】 8ch
【最大増設チャンネル】 256ch
【絶縁抵抗測定範囲】 10?Ω～ 101?Ω(100V 印加時)
【測定電流測定範囲】 0.01pA～50uA(5レンジ)、※固定レンジ・オートレンジ選択可能(0.01pA～500pA/0.1pA～5nA/100pA～500nA/1nA～5μA/10nA～50μA)
【測定レンジ、100V印加時、電流測定精度】 500pAレンジ : ±(8%fs +50pA)、5nAレンジ : ±(5%fs +100nA)、500nAレンジ : ±(2%fs +5nA)、5μAレンジ : ±(1%fs +10nA)、50μAレンジ : ±(0.5%fs +0.1μA)
【バイアス印加方法】 チャンネル独立バイアス方式(1パワーサプライ→1ch)
【バイアス印加電圧設定】 +1.0V ～ +100V (0.1V 単位)
【バイアス印加アンプ】 オペアンプ方式、出力ノイズ : 最大±5mV、高圧アンプ安定化電源として直列型高圧安定化電源を採用、高圧オペアンプによる100μsec オーダーの高速レスポンス
【バイアス印加電圧精度】 ±(0.3%+0.5V)フルスケール
【バイアス電圧測定精度】 ±(0.3%+0.5V)フルスケール
【最大試験可能時間】 9,999 時間
【測定回路】 絶縁抵抗方式 : ローサイド電流計測
【電流測定ケーブル】 二重構造アクティブガードケーブル
【ケーブルオープン検知機能】 計測ケーブルのコネクター脱落を検知しアラーム警告・測定停止
【収録データ内容】 収録時間・経過時間・抵抗値・印加電圧・測定電流・温度 / 湿度(要チャンバー通信オプション)
【パソコン】 OS : Windows 10 対応
【マイグレーション、測定モード】 エンドモード : マイグレーション発生点で終了、トリガーモード : マイグレーション発生しきい値で開始、終了しきい値で試験終了、タイムモード : マイグレーション発生しきい値、終了しきい値で発生カウント(数値指定 50 回)
【電源】 AC100V 50/60Hz 約 100VA/ラック(64ch)
【収納ユニット外形寸法】 W385 × D432 × H227mm (突起部を除く)
【質量】 約 18kg (32ch)