2021/05/18
京都大学 × ポリテック 「移動する」マイクロ・ナノ機械の機械的信頼性評価/ポリテックジャパン株式会社【開催日:6月18日】
主催会社 | ポリテックジャパン株式会社 |
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イベント名 | 京都大学 × ポリテック 「移動する」マイクロ・ナノ機械の機械的信頼性評価 |
開催日程 | 2021年6月18日(金) |
時間 | 11:00-12:00 |
会場 | Webセミナー |
お問い合わせ | こちら |
参加費 | 無料 |
内容 |
MEMSセンサ・アクチュエータは小型で可搬性が高いため輸送機械やポータブル機器での利用が盛んです。これら「移動する」機械では信頼性評価が重要で、過酷な温度・湿度環境に曝されながら振動や衝撃を受けても安定して動作することが求められています。 信頼性評価には微小な機械構造の形状・動き・振動を精密に測定可能な光学式の非接触測定手法が不可欠です。 当研究室で実施しているMEMS信頼性評価研究とそこで活躍する非接触形状・変位計測手法をご紹介します。 |