新しいデザインの高速SMUテクノロジーによる負荷線の影響のないパルス/過渡測定超高速IV、パルスドIV、トランジェントIV測定は、次世代の半導体、デバイス、材料の研究開発で重要性を増しています。
Keysight B1500AのKeysight B1530A波形発生器/高速測定ユニットは、時間依存測定に最適な独自の測定モジュールです。
時間依存測定は通常、パルス発生器とオシロスコープの組み合わせて行われますが、負荷線の影響(残留抵抗の電圧降下に起因する誤差)が正確な測定を実現する上で問題となっていました。
B1530A WGFMUは、任意波形発生機能と同時高速測定機能を統合し、Keysight独自のダイナミックSMUテクノロジーにより、パルス・ジェネレータをベースとするソリューションと比べて、負荷線の影響のない、正確で感度の高い測定を実現します。
超高速NBTI/RTN測定などの最先端の超高速IV、パルスドIV、トランジェントIVアプリケーションを実行するための非常に高度で有用なソリューションです。
ダイナミック・レンジ機能による、広い電流範囲での正確で高速な測定
超高速IV、パルスドIV、トランジェントIV測定の感度がもう1つの問題です。
電流はパルス・ベースとパルス・ピークによって程度が異なる可能性があるため、デバイスによっては、印加波形によってインピーダンスが著しく変動します。
Keysight B1530Aには任意のポイントでの測定範囲を指定する機能があり、任意波形出力で測定範囲が動的に変更されます。
このため、最適な範囲と分解能を用いて正確な測定を実現することができます。
RTN(ランダム・テレグラフ・ノイズ)、超高速NBTI/PBTI、パルスドIV/過渡測定などの高度なデバイス・テストに対応する、すぐに使用できるアプリケーション・ソフトウェア
B1530A WGFMUの高度な測定機能を使用すれば、従来の測定器では難しかった測定を実行できます。
B1530A WGFMUでは、高速測定と高感度により、μs以内での特性評価が可能です。
例えば、B1530Aは、最新半導体の信頼性を確保する上で重要な課題となる、超高速のNBTI/PBTI測定やRTN測定などの最先端のアプリケーションに使用することができます。
Keysight B1500Aは、すぐに使用できるアプリケーション・ソフトウェアを備えているので、このような困難なアプリケーションをすばやく開始することができます。
Keysight B1530A WGFMUの詳細については、プロダクト・ノートを参照してください。
パルス/波形生成と内蔵測定機能
超高速NBTIの詳細については、アプリケーション・ノートを参照してください。
アプリケーション・ノートB1500-10『Keysight B1500AのWGFMUモジュールを使用した1 µs超高速NBTIの評価』
RTN測定の詳細については、アプリケーション・ノートを参照してください。
アプリケーション・ノートB1500-11『CMOSイメージセンサーのランダム・テレグラフ・ノイズ(RTN)の評価』
他のパルス・ソリューションをお探しの場合は、以下も参照してください。
・ KeysightパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション セレクション・ガイド
・ B1542A 10 nsパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション
・ B1525A高電圧半導体パルス・ジェネレータ・ユニット(HV-SPGU)
■主な特長と仕様
負荷線の影響のない真のパルス/トランジェント測定ソリューション
・ NBTI/PBTI、RTN(ランダム・テレグラフ信号雑音)などの超高速IV(電流/電圧)、パルスドIV、トランジェントIV測定に対応する、高速かつ高感度の測定機能
・ DC出力に加えて、10 nsの設定分解能で任意波形を発生させることが可能
・ 同時高速IV測定機能(最高200 Mサンプル/s)
・ 1 nAまでの高感度測定
・ Keysight独自のダイナミックSMUテクノロジーによる、負荷線の影響のない正確なパルスドIV測定
・ 10 Vp-pの出力
・ 任意波形の出力でのダイナミック・レンジ機能により、広い電流範囲を実現
・ デュアル・チャネル出力