SEM測定は条件設定や試料準備に時間を要します。本発表では、半導体試料への活用例の一つとして、前半ではSEMに搭載された自動測定機能により、データ取得からレポート作成までを無人化し、働き方改革やオペレーター不足の解消に貢献する手法を紹介します。後半では、イオンビーム断面加工装置を用いたSEM前処理の省力化と再現性向上について紹介します。

本セミナーは、WEB上で視聴期間限定のオンデマンド形式で開催いたします。視聴期間内であればお客様のご都合に合わせていつでもどこでもご視聴いただけます。皆さまのご参加をお待ちしております。

• 最新SEMの自動測定システム
• 最新のブロードArイオンビームを使用した断面試料作製装置
• 半導体試料に対するSEM/断面試料作製装置の活用事例

• SEMの業務効率アップを希望の方
• ブロードArイオンビームを使用した断面試料作製装置に興味のある方
• 半導体関連資料を解析/分析されている方

日本電子株式会社
SI営業本部　国内SI営業部　福岡SIグループ

発表資料の配布は行いません。

後日講演録画をウェビナ－アーカイブページに掲載します。
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講演終了後の質疑応答は行いません。