2023/02/14
薄膜・積層膜の分析方法をお探しの方へ ~XRF,XPSを用いた分析のご紹介 / 日本電子
| 主催会社 | 日本電子株式会社 |
|---|---|
| イベント名 | 薄膜・積層膜の分析方法をお探しの方へ ~XRF,XPSを用いた分析のご紹介 |
| 開催日 | 2023/2/14（火）16:00 ～ 17:00 |
| 会場 | Zoom |
| 参加費 | 無料 |
| 対象 |
膜厚測定を行いたい方 XRFの膜厚測定を高精度に行いたい方 XRF,XPSの使用に興味がある方 |
| 内容 |
試料表面に形成された薄膜・積層膜の元素組成や化学状態、その膜厚を調べるという要求は多くあります。そのような試料の分析には、SEM,TEMを用いて断面観察しながらの分析がよく行われていますが、高度な技能が必要となります。そこで、スクリーニングとして簡単に膜厚評価や状態分析を行いたい方に向けて、複雑な操作を行わず分析可能なXRFとXPSを紹介します。 【このウェビナーから学べること】 薄膜分析手法の例 XRFを用いた膜厚測定について XPS,XRFを併用する有用性 |
| 主催者の申込みページ |
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薄膜・積層膜の分析方法をお探しの方へ ~XRF,XPSを用いた分析のご紹介~ |
| その他 |
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