セミコンショーは、7月のSEMICON West(米国、SEMI主催)と12月のSEMICON Japan(SEMIジャパン主催)が大規模な世界2大イベントです。SEMICON Japan 2024は東京ビッグサイトの東ホール全部(Hall 1～8)を使って開催され、来場者の延べ人数は10万人を越えました(2023年は8.5万人)。展示された多くの計測器の中から、まだ展示会レポートで取り上げていない3製品をTechEyesOnline(TEO)取材班が紹介します。まず、赤外線を主とする光学機器の総合商社、アイ・アール・システムのアクティブサーモグラフィ。この分野をラインアップするInfraTecの製品群が、デバイス内の微細な不良を検知するデモを取材しました。次に、半導体製造装置向けのロードセルに注力するティアック。指示計やシグナルコンディショナの販売状況や、半導体市場の産業用イーサネットの規格動向など、興味深い話を伺いました。最後はパーティクルカウンタ(微粒子計測)の老舗、リオン。半導体の回路パターン幅の微細化が進み、3nm線幅デバイスが量産されています。2022年に発売された、従来品よりも測定粒子径が小さい20nmの液中パーティクルセンサを紹介します。