2026/08/21 シェア ADEKA、半導体 EUV レジスト用材料の生産能力を 2 倍に ADEKA は、極端紫外線 (EUV) など先端半導体リソグラフィ工程に必要なレジスト用「光酸発生剤」の生産設備増強を発表した。千葉工場に約 10 億円を投じてラインを増設し、生産能力を従来の約 2 倍に引き上げる。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
.png)
.png)