2026/08/18 シェア ウエハーの計測精度を約 35% 向上、ニコンのアライメントステーション ニコンは、従来機種から計測精度を約 35% 高めたアライメントステーション「Litho Booster 1000」を発売する。半導体の 3D 構造におけるボンディング工程で、高精度な重ね合わせ補正に寄与する。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
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