半導体エッチング工程向け極低温チラー出荷、電力/水の消費量 30 ～ 50% 削減 | 業界ニュース | TechEyesOnline

計測器のオンラインショップ「速納.com」

初めての方へ

広告掲載ご案内

お問い合わせ

ログイン会員登録

ホーム>業界ニュース>半導体エッチング工程向け極低温チラー出荷、電力/水の消費量 30 ～ 50% 削減

業界ニュース

半導体エッチング工程向け極低温チラー出荷、電力/水の消費量 30 ～ 50% 削減

荏原製作所は、-60 ℃という極低温チラー「RJ-TTC 型」を半導体市場向けに初めて出荷した。 [続きを読む]

提供元 : MONOist

おすすめの記事

2017/08/30

市場動向レポート「パワーエレクトロニクス機器 (インバータ) の評価方法の勘所」2014年1月号 TechEyes Vol.03

2018/01/17

市場動向レポート「デジタル変調技術と評価用測定器の最新動向～OFDM信号と位相雑音測定～」2017年6月号 TechEyes Vol.23

2019/02/19

～開発・設計評価から生産ラインの検査・品質管理まで～進化するディスプレイの測定ニーズに対応したカラーアナライザー CA-410

最新のセミナー情報はこちら

技術情報・レポートはこちら