住友化学は、大阪工場 (大阪市此花区) に先端半導体用フォトレジストの技術棟を新設する。EUV や ArF といった次世代半導体の製造に欠かせない材料の供給体制を強化するため、分散していた製造プロセス技術、品質評価、分析の 3 機能を 1 つに集約する考えだ。 [続きを読む]