2026/01/14 シェア ダイヘンが先進後工程向け真空パネル搬送、理想軌道で搬送効率向上 ダイヘンは「SEMICON Japan 2025」において、先進後工程向け真空パネル搬送ロボットのデモンストレーションを披露した。 [続きを読む] 提供元 : MONOist