フッ素ゴムの中でも最高レベルの耐薬品性、耐熱性、耐プラズマ性を持ち過酷な環境でも劣化しにくい FFKM は、半導体製造に欠かせない。しかし、PFAS が環境問題として注目されたことにより、市場の要求に変化が起きている。AGC が満を持してリリースしたフッ素ゴム製品「SF グレード」は、その変化に対応するための課題を解決する切り札となるのか。開発者が語る、新製品に込めた思いと今後の展望とは。 [続きを読む]