2025/09/03 シェア ハロゲンフリーで酸化ハフニウムの異方性原子層エッチングに成功 名古屋大学は、ハロゲンフリーのプラズマプロセスで、酸化ハフニウムの異方性原子層エッチングに成功した。難エッチング材料の酸化ハフニウムを原子レベルで微細に加工、制御可能になる。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
2019/06/11 ～ 手のひらサイズのサーモグラフィカメラで、熱画像による設備の診断を、より身近に ～ FLIR C2/C3 (約10万円)、 スマホアクセサリー FLIR ONE PRO (約5万円)
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