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業界ニュース

2025/08/27

最先端プロセス対応の半導体計測装置、最大 6 倍の高速化を実現

リガクは、半導体製造におけるウエハー表面の微量汚染分析に対応した、全反射蛍光 X 線 (TXRF) 分析装置「XHEMIS TX-3000」の販売を開始した。 [続きを読む]
提供元 : MONOist

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