2025/06/24 シェア 800 μ m までの厚みに対応する膜厚分布測定装置 マッピング表示は 1 分以内 JFE テクノリサーチは、膜厚分布測定装置「FiDiCa」シリーズに、極厚膜モデルを追加した。シリコンウエハーなど厚みのある基材の膜厚分布を、短時間で高精細に測定できる。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
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