2025/06/24
異なるウエハーサイズでも異種材料集積を実現するタイリング CFB 技術を開発
OKI は、半導体などの結晶薄膜 (Crystal Film) を剥離し、異なる材料の基板やウエハーに直接接合することで、異種材料集積デバイスを実現する CFB (Crystal Film Bonding) 技術を用いた「タイリング CFB」技術を開発した。 [続きを読む]
提供元 : MONOist

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