2025/02/04 シェア 高い圧電性能を持つ窒化アルミニウム系薄膜を開発 下地層を活用 産業技術総合研究所は、物質・材料研究機構との共同研究で、高い圧電性能を持つ窒化アルミニウム系薄膜を開発した。薄膜と同じ結晶構造を持つ下地層を用いることで、薄膜の圧電性能向上に成功した。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
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