2025/01/31 シェア UV ナノインプリントを活用しシリコンフォトニクス半導体プロセスを開発 東京科学大学工学院と東京応化工業は、UV ナノインプリントを用いたシリコンフォトニクスプロセスを開発した。 [続きを読む] 提供元 : MONOist