東京エレクトロンは、枚葉成膜装置「Episode 1」「Episode 2 DMR」「Episode 2 QMR」を発表した。装置データ収集力やエッジ情報処理システムを強化しており、解析アプリケーションなどを利用することで、装置の稼働率や作業効率を改善する。 [続きを読む]