2024/08/08 シェア 半導体の微細化へ、東京エレクトロンが極微細パターニング工程向け GCB 装置 東京エレクトロンは、パターニング工程向けガスクラスタビーム装置「Acrevia」の販売を開始した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の向上に貢献する。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
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