2024/08/08 シェア 新規窒化物強誘電体薄膜、水素含有ガス中の熱処理に対する高い耐久性 東京工業大学は、窒化物強誘電体のスカンジウムアルミニウム窒化物の薄膜が、600 ℃までの水素含有ガス中の熱処理後も強誘電性が劣化しないことを発見した。 [続きを読む] 提供元 : MONOist
.png)