レゾナックは、第一原理計算と、人工知能 (AI) を融合した新しいシミュレーション技術「ニューラルネットワークポテンシャル (NNP) 技術」を、CMP スラリーによる半導体回路の研磨メカニズムのシミュレーションに初めて導入し、同メカニズムを解明した。 [続きを読む]