業界ニュース

2021/11/24

半導体製造向け精密チラー、小型ながら冷却能力 4.0kW の高出力

荏原製作所は、小型ながら冷却能力 4.0kW と高出力の半導体製造プロセス向け精密チラー「RJ-SA 型」を発表した。独自の小型ポンプ採用により、省スペース化のニーズに応え、サブファブスペースの効率利用をサポートする。 [続きを読む]
提供元 : MONOist

おすすめの記事

速納.com キャンペーン