業界ニュース

2021/09/03

住友化学が半導体向けフォトレジスト生産強化、大阪工場を増強し韓国に工場新設

住友化学は 2021 年 8 月 31 日、最先端プロセス向けフォトレジストの生産体制を強化することを発表した。大阪工場 (大阪市此花区) で、液浸 ArF (フッ化アルゴン) と EUV (極端紫外線) フォトレジストの製造ラインを増設する他、住友化学の 100% 子会社である東友ファインケムの益山工場 (大韓民国全羅北道益山市) に、液浸 ArF フォトレジストの製造プラントを新設する。 [続きを読む]
提供元 : MONOist

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