NTT アドバンステクノロジと東京工業大学は、複数の金属層から形成される積層メタル構造を用いた低ノイズ・高感度の MEMS 加速度センサーを開発した。同サイズのセンサーと比べて、ノイズ 10 分の 1 以下、感度 100 倍以上を達成している。 [続きを読む]